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音圈电机驱动柔性纳米平台

发布时间:2022-07-18浏览次数:429
  • 音圈电机驱动柔性纳米平台


       音圈电机驱动柔性纳米平台,基于具有大变形能力的柔性板簧机构单元,采用串联、并联和混联结构设计,实现毫米级行程、纳米级精度的单轴/多轴、平面/空间的跨尺度定位与扫描运动。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。


技术特点:配图产品雷达表A2-02.jpg

  • 紧凑型结构设计;

  • 轴间运动学解耦设计;

  • 跨尺度、高精度;

  • 无摩擦、零间隙、免装配;

  • 真空兼容性。


应用领域:

  • 纳米压印技术

  • 显微操作

  • 视觉伺服

  • 激光加工

  • 光学对准测量

 

规格参数:

型号

Tr-V-XY-2000

运动轴

XY

传感器类型

光栅/激光干涉仪

闭环行程

2mm

闭环分辨率

10nm/20nm

自重(kg)

2.5

尺寸(mm)

270X270X26

线性度(%)

0.04

无负载谐振频率(Hz)

20

材料

铝合金

最大负载(kg)

1

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